廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特進(jìn)口分子泵 維修進(jìn)口真空泵
當(dāng)停泵后,碳氧化合物返流很快通過(guò)泵進(jìn)入直空室內(nèi),如果系統(tǒng)仍保持在直空狀態(tài)下,碳?xì)饣衔飳?huì)粘在清潔的葉片和直空室的表面上,在隨后再運(yùn)轉(zhuǎn)該系統(tǒng)時(shí),將極難抽除粘著的碳氧化合物,另一方面,在渦輪分子泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),如果給泵充入干燥氙氣或干燥空氣,剛該干燥氣體將給暴露的表面提供一層氣體保護(hù)層,而且在系統(tǒng)充氣后,返流的碳氧化合物由于與充入的氣體混合起來(lái),從而它的粘著能力很弱,在混合氣體中碳氧化合物所占比例*小,在下一次抽空時(shí)也很快就能被抽走。
一般導(dǎo)致真空泵無(wú)法正常啟動(dòng)的原因
1、驅(qū)動(dòng)電機(jī)電壓不正確或過(guò)載。維修進(jìn)口真空泵
解決辦法:提供電機(jī)正確的電壓。
2、電機(jī)啟動(dòng)器過(guò)載保護(hù)太小或設(shè)定值太低。
解決辦法:將電機(jī)啟動(dòng)器過(guò)載保護(hù)的設(shè)定數(shù)據(jù)與電機(jī)銘牌的數(shù)據(jù)相對(duì)照,必要時(shí),請(qǐng)校正。如果環(huán)境溫度較高:可將設(shè)定值根據(jù)正常電機(jī)電流提高5%。
3、保險(xiǎn)絲熔斷。
解決辦法:檢查保險(xiǎn)絲。維修進(jìn)口真空泵
在何處充氣
在渦輪分子泵的前級(jí)側(cè)充氣,能強(qiáng)制使碳氧化合物立刻通過(guò)渦輪分子泵流入真空室。另一方面,若在渦輪分子泵吸入側(cè)充氣,能達(dá)到以清潔氣體蕩蓋表面的目的。并使氣流流向渦輪分子泵(自上而下),能暫時(shí)阻止、延遲碳?xì)浠衔锏姆盗鳎灿行u輪分子泵在壓縮級(jí)之間進(jìn)行中間充氣,它和在吸入側(cè)充氣控制碳?xì)饣衔锓盗鲙缀跬瑯佑行?。在超高真空系統(tǒng)中,在壓縮級(jí)充氣尤其*越。因?yàn)橹虚g充氣不需要價(jià)格昂貴的金屬密封的可烘烤的充氣閥。維修進(jìn)口真空泵
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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特進(jìn)口分子泵 分子泵養(yǎng)護(hù)
半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)制造工藝極其復(fù)雜,需要在高純度硅片上執(zhí)行一系列精密的物理或者化學(xué)操作,例如摻入相應(yīng)的其它元素、形成多種金屬薄膜和絕緣膜、進(jìn)行表面的刻蝕處理等。這些復(fù)雜的生產(chǎn)制造工藝都需要在分子泵維持的高真空環(huán)境下進(jìn)行,而且對(duì)真空系統(tǒng)和真空設(shè)備的潔凈度也有著很高的要求。分子泵養(yǎng)護(hù)
羅茨真空泵在石油、化工、塑料、nong藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長(zhǎng)期運(yùn)行的考驗(yàn),所以應(yīng)該在國(guó)內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。同時(shí)也廣泛用于石油、化工、冶金、紡織等工業(yè)。真空泵配件作為真空泵消*器,用于真空泵的噪聲治理。分子泵養(yǎng)護(hù)
轉(zhuǎn)子的內(nèi)部冷卻:為了使羅茨真空泵在更高壓差下工作,可采取更有效的冷卻方法,即將轉(zhuǎn)子用循環(huán)油冷卻,在泵軸兩端分別有油孔、油徑軸頭打入,經(jīng)轉(zhuǎn)子內(nèi)壁再?gòu)牧硪欢伺懦?。冷卻油除冷卻轉(zhuǎn)子外,還潤(rùn)滑齒輪和軸承。這種冷卻效果較好,泵在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)轉(zhuǎn)子溫度低于外殼溫度,大泵常采用這種方式。 分子泵維修,例如在80Torr壓差下工作時(shí),羅茨真空泵轉(zhuǎn)子溫度較外殼低78度,同時(shí)還發(fā)現(xiàn)泵負(fù)荷越重時(shí),則間隙越大,這是因?yàn)檗D(zhuǎn)子用油冷卻,溫度比殼體低,負(fù)荷越大,殼體膨脹越厲害,軸間距加大,所以間隙會(huì)增大。
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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特進(jìn)口分子泵 二手渦輪分子泵維護(hù)中心
在半導(dǎo)體晶圓的制造中,光磁存儲(chǔ)生產(chǎn)中,太陽(yáng)能面板制造中,TFT,OLED及其他光學(xué)**鍍膜中,**分析儀器及航空航天研究中,都離不開(kāi)高真空,渦輪分子泵,復(fù)合分子泵,磁懸浮分子泵是目前獲得高真空*好設(shè)備之一,其工作原理是利用高速旋轉(zhuǎn)的多層轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被一層一層定子隔離,*終驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走而獲得高真空。二手渦輪分子泵維護(hù)中心
當(dāng)真空泵停止運(yùn)行時(shí),泵內(nèi)的液體回落到液體源,泵體及吸液管內(nèi)充滿了空氣。當(dāng)再次啟動(dòng)時(shí),葉輪抽吸空氣,雖能形成一定的負(fù)壓,但該負(fù)壓尚不能將空氣下面的液體連帶提升上來(lái),因?yàn)橐后w的重力作用,當(dāng)負(fù)壓達(dá)到一定值時(shí),空氣可從葉輪中返回,所以空氣無(wú)法再?gòu)娜~輪中抽出。二手渦輪分子泵維護(hù)中心
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